中國完成新光刻膠技術驗證 為開發EUV光刻膠技術儲備

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據湖北九峰山實驗室在官方微信公眾號發布消息稱,近日九峰山實驗室與華中科技大學組成聯合研究團隊,支持華中科技大學團隊突破“雙非離子型光酸協同增強回應的化學放大光刻膠”技術,可望為光刻製造的共性難題提供明確的方向,同時為EUV光刻膠的著力開發做技術儲備。

據《芯智訊》報導,作為半導體製造不可或缺的材料,光刻膠品質和性能是影響積體電路電性、成品率及可靠性的關鍵因素。但光刻膠技術門檻高,市場上製程穩定性高、工藝寬容度大、普適性強的光刻膠產品屈指可數。

報導說,當半導體製造技術節點進入到100nm甚至是10nm以下,如何產生分辨率高且截麵形貌優良、線邊緣粗糙度低的光刻圖形,成為光刻製造的共同難題。

據湖北九峰山實驗室在官方微信公眾號發布消息稱,近日九峰山實驗室與華中科技大學組成聯合研究團隊,支持華中科技大學團隊突破“雙非離子型光酸協同增強回應的化學放大光刻膠”技術,可望為光刻製造的共性難題提供明確的方向,同時為EUV光刻膠的著力開發做技術儲備。

據《芯智訊》報導,作為半導體製造不可或缺的材料,光刻膠品質和性能是影響積體電路電性、成品率及可靠性的關鍵因素。但光刻膠技術門檻高,市場上製程穩定性高、工藝寬容度大、普適性強的光刻膠產品屈指可數。

報導說,當半導體製造技術節點進入到100nm甚至是10nm以下,如何產生分辨率高且截麵形貌優良、線邊緣粗糙度低的光刻圖形,成為光刻製造的共同難題。

據介紹,華中科技大學團隊通過巧妙的化學結構設計,以2種光敏單元構建“雙非離子型光酸協同增強回應的化學放大光刻膠”,最終得到光刻圖像形貌與線邊緣粗糙度優良、space圖案寬度值正態分布標準差(SD)極小(約為0.05)、性能優於大多數商用光刻膠。且光刻顯影各步驟所需時間完全符合半導體量產製造中對輸送量和生產效率的需求。

該研究成果有望為光刻製造的共性難題提供明確的方向,同時為EUV光刻膠的著力開發做技術儲備。

相關研究成果已於2024年2月15日在國際頂級刊物《化學工程》(Chemical Engineering Journal, IF=15.1)發表。該專案由中國國家自然科學基金、973計劃共同資助,主要作者為華中科技大學光電國家研究中心朱明強教授,湖北九峰山實驗室工藝中心柳俊教授和向詩力博士。

ajaychen_2024 發表評論於
一步又一步,工業皇冠上的明珠又被摘下了一顆。
ajaychen_2024 發表評論於
問題是出來的華人就一定要對大陸苦大仇深嗎?

分享_快樂66 發表評論於 2024-04-03 01:21:09
熱愛中國的人留在大陸多好,幹嘛出來??
分享_快樂66 發表評論於
yangcen 發表評論於 2024-04-02 16:54:30
有些海外華人對中國是深仇大恨啊。


熱愛中國的人留在大陸多好,幹嘛出來??
kiki-wq 發表評論於
中國絕對不缺少頂級技術人才,隻是待遇和貢獻不配位,偶爾出幾個出頭的也不是什麽怪事,光刻膠世上已經有了又不是什麽新發明破解他的生產過程有什麽不可能?
閑看江湖 發表評論於
哎!卡的結果完全可以預料,上世紀卡出兩彈一星高超音速小火煎和神州飛船,這次卡芯片的結果是芯片白菜價。技術發展之路從來是條條大路通羅馬。時間3-5年。2024年有人把石頭抬起來了,砸到誰?泡上茶等等看吧!
叫啥好不好 發表評論於
萬事俱備隻欠光刻機
jifeng2023 發表評論於
相信中國的科研人員的科研能力。美國妄想卡中國科技發展的脖子事實說明不能卡多久。沒有什麽效果。
裘千裏 發表評論於
壓力就是動力,中國的成功,大多是被逼出來的。
goodluck8888 發表評論於
國際頂級刊物《化學工程》(Chemical Engineering Journal, IF=15.1)


bsmile 發表評論於 2024-04-02 19:17:01
這個刊物的影響力因子如何?
chgsuoyuyan 發表評論於
yangcen 發表評論於 2024-04-02 16:54:30
有些海外華人對中國是深仇大恨啊。
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就是文學城出沒的一群噴子,一無是處。
京西觀察使 發表評論於
因為大陸政府害死的中國人太多了,血債累累,早晚要還的。
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yangcen 發表評論於 2024-04-02 16:54:30
有些海外華人對中國是深仇大恨啊。
牆頭的一朵梨花 發表評論於
發個爛文,就是光刻膠。這邏輯相當於畫個圈,就是一張餅。哈哈哈哈哈哈哈。腦殘太多。
chgsuoyuyan 發表評論於
祝賀中國研究團隊!多研究先進技術是正道。
點點點點點 發表評論於
朝鮮人民至今都相信朝鮮是世界上最發達的國家之一
bsmile 發表評論於
這個刊物的影響力因子如何?
換一個 發表評論於
可望為光刻製造的共性難題提供明確的方向...
,指明方向,我就相信習大
時光的酒 發表評論於
別忘了,還有習思想。這不但領先全球,還領先全宇宙。唯一競爭對手,是隔壁金家三頭豬。
時光的酒 發表評論於
龍芯,量子計算機,5雞技術,超特大油田,華為芯片,騙子國每天都有驚喜給吃瓜群眾。
manhan 發表評論於
不相信,中國大陸騙子太多。
manhan 發表評論於
不相信,中國大陸騙子太多
yangcen 發表評論於
有些海外華人對中國是深仇大恨啊。
ZGBD 發表評論於
不就是一篇文章呀,有什麼可吹的。
米奇的廚房 發表評論於
還沒做scale UP就敢吹?等做成了量產再說吧
Deepspace_01 發表評論於
甭吹。光刻膠在日本手裏。卡你分分秒的事。
oldwind 發表評論於
天天突破,天天吹牛。
過路人_2016 發表評論於
遙遙領先
roliepolieolie 發表評論於
這種牛逼中國人最會吹。八字沒一撇就敢喊得震天響。嗬嗬。

下麵這個更牛逼。一個做電線絕緣皮的就敢卡住OpenAI的脖子。哈哈哈哈

Sora關鍵原材料之一來自綿陽這家公司
2024年02月20日08:12 | 來源:四川日報

點位東材科技集團股份有限公司

近日,美國人工智能公司OpenAI推出了一款視頻生成模型“Sora”,成為人工智能領域的熱門話題。殊不知,這個具有顛覆性革命意義的產品關鍵原材料之一,來自一家綿陽公司。
Idado 發表評論於
關鍵的是歐美市場對中國企業關閉,而非僅僅是技術。恭喜中國居民能用上先進科技?:)
LAOK 發表評論於
城裏普吹不愛看這消息!就愛喊中國崩潰了。
令胡衝 發表評論於



中國在任何半導體工藝流程上都有至少二十所這樣的大學和研究機構。十年以後,量子計算材料和AI研究也將是中國的資源優勢。

飿崆 發表評論於
做成了再吹好不好,儲備也要吹嗎?