DUV做不了5納米，因為它的波長193納米，一次曝光最好隻能做20納米以上。靠多次曝光做到5納米合格率5%以下。

來源: Iknowno 於 2025-10-14 18:53:19 [] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (0 bytes)

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• double patterning 是好多年前的事情了 -赤腳行醫無界- ♂ 給 赤腳行醫無界 發送悄悄話 (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:58:48

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