DUV做不了5納米,因為它的波長193納米,一次曝光最好隻能做20納米以上。靠多次曝光做到5納米合格率5%以下。

來源: 2025-10-14 18:53:19 [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀: