5nm DUV 光刻機發布。ASML需要顫抖嗎？

所有跟帖： 

• DUV做不了5納米，因為它的波長193納米，一次曝光最好隻能做20納米以上。靠多次曝光做到5納米合格率5%以下。 -Iknowno- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:53:19

• double patterning 是好多年前的事情了 -赤腳行醫無界- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:58:48

• 肯定要抖 導致asml 分辨率 出問題 -赤腳行醫無界- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:54:00