MEMS傳感器專利的落地之旅——從研發到成功實施

MEMS傳感器專利的落地之旅——從研發到成功實施

Tu Xiang Zheng (塗向真)

2004年的秋天，我又來到了台灣的新竹科學園。“春華秋實”，秋季是收獲的季節。田野稻子黃澄澄，山坡蘋果金燦燦。龍眼，荔枝，芒果，鳳梨，柚子，柿子，碩果累累。西瓜，南瓜，冬瓜，甜瓜，苦瓜，絲瓜滿地飄香。人們看到這些豐收景象，怎能不喜在心頭，笑在臉上呢？

是的，人們歡聲笑語歡慶豐收，農業種植是如此，科技開發何嚐不是如此呢！ 我的一項MEMS傳感器專利在新竹科學園實施一年多了，工程師們夜以繼日，辛勤奮戰，付出了巨大的心血，該是瓜熟蒂落的時候了。當我進入新竹科學園的第一天，就被園區的秋景吸引住了，漫山遍野的白芒花，遮天蔽日的黃楽樹。我感到心花怒放，神清氣爽，這顯然是大自然向我昭示著喜慶之兆。

果然，自從專利實施開始，每隔幾天都有好消息傳給我，或是工藝進展順利，或是測量結果喜人。我聽了以後，像是吃了蜜似的，美不可言。

作為這項MEMS傳感器的發明人，我自信我設計的傳感器，是經過深思熟慮，反複模擬，能確保結構合理，製程成熟，不會在實施中出問題。但是，設計是一回事，實施起來是另一回事。況且，具體製造要經過工程師之手，我隻能從旁指導，不能包辦代替。所以最後的成功，應該說明的，既是我設計正確，也是工程師執行得法，兩者同樣重要，缺一不可。

經過近一年的努力，這項MEMS傳感器終於做出來了，測試結果也達到了設計要求。在這大功告成，勝利在握的時刻，我不是趾高氣揚，沾沾自喜，而是首先向兩位擔當實施任務的兩位主要工程師，負責傳感器芯片製造的Huang先生和負責傳感器電學測量的Qiu先生表示感謝。他們竭盡全力，鼎力相助，讓我感激萬分。他們同心協力，真誠合作，讓我永生難忘。

須知，發明是推陳出新，標新立異的。但有不少些人看來，是不懂常識，是違背常規，是癡人說夢，異想天開，所以經常有人背地裏指責我，非難我，甚至諷刺我，嘲笑我，而Huang先生和Qiu先生卻是反其道而行之。他們尊重科學，重視實踐；他們勤奮好學，勇挑重擔；他們腳踏實地，步步為營；他們刻苦鑽研，不厭其煩，從而將我的一項MEMS傳感器專利轉化為產品。

MEMS傳感器的實施成功，讓更多的人相信我的發明是前衛的，新穎的，有遠見的，反映了現實需要的，是可以轉化成為實用產品的，從而大大提高了我在MEMS公司的威望。更多的工程師願意與我合作，更多的管理人員主動向我求教，大家都更尊重我，敬佩我，把我當作良師益友，我成了公司最受歡迎的人了。

找我談話最多的是Huang先生，他是機械碩士，畢業於德國的亞琛工業大學。他學的傳統機械雖然與微機械相去甚遠，但對於像亞琛這樣在世界工程學科上獨領風騷的大學的畢業生說來，是一通百通。他從亞琛學的先進的理論知識和科學的思維方法，到處都可以用得上。不管去到什麽地方，從事何種職業，都有可能成為該地方和該行業的佼佼者。

俗話說的“名師出高徒”，Huang先生做的MEMS傳感器芯片，在顯微鏡下看來，就像是一件精雕細刻的工藝品，稱得上是“高徒”之作。實際上，MEMS傳感器芯片比傳統工藝品高超多了，論大小，是微米級，論精度，是納米級，論功能，是上天入地，呼風喚雨。雖然製作這件工藝品的技術不是傳統的切，削，磨，拋，而是現代的氧化，擴散，光刻，腐蝕，但成功的秘訣是一樣的，遵循的理念是一樣的，都要求精密設計和精確加工，都要求認真負責和一絲不苟。正是這些秘訣成就了亞琛的一世英明，讓它在汽車和航空業鶴立雞群，久盛不衰。由於Huang先生在亞琛得到真傳，他雖在亞琛沒有學過微電子，但這並沒有不妨礙他從事MEMS，他邊幹邊學，學以致用，不到半年全都學會了，並且表現優異，成就卓絕。

Huang先生身體頎長，眉清目秀，很帥氣。我想他很有豔福，不愁找不到女友。有一次我與他閑聊，才知道他還是單身。他是有一位女朋友，不過還在德國讀音樂碩士。Ding博士告訴我，他勸Huang先生盡快去德國找他的女朋友，分得太久了，恐怕女朋友保不住。Huang先生聽了，笑笑，似乎不太相信。但過了幾天後，他信了，找到Ding博士請探親假。他去了一趟德國，而且很有成效，與女友商定了回台灣結婚的日期。

Qiu先生與我聯係也有比較多，他是電子學碩士，畢業於台北科技大學。來MEMS公司之前，已在台中的一家麥克風公司工作過，有比較多的工作經驗。可他的年齡並不太大，看起來比Huang先生還顯得年輕些。他體態勻稱，英俊瀟灑，很有風度。剛開始，我對他設計傳感器電路有些擔心，怕他到時候設計不出來，我給他找了參考電路，想讓他照著做。後來才發現，我的擔心是多餘的，他獨立設計電路的水平很高，他搭建的MEMS傳感器測量係統也很成功。我幾乎不用費什麽勁，就能得到有關這項MEMS傳感器的所有測量數據。我心裏想，我周圍的這些工程師，年齡相近，教育程度也差不多，為什麽工作能力相差那麽巨大，業務績效相差那麽懸殊？

離我的辦公桌比較近的工程師Yu先生，一有空就來找我聊天。他除了談工作，也談些別打。他說我與他共祖宗，並且引經據典，說得頭頭是道。他是從台灣工業研究院材料所調來的，據說曾經做過壓力傳感器。我倒希望他參加我的專利實施項目，可他做的工作是掃描電鏡。我問過人事主管，他說，Yu先生本來也是在生產線上，隻是在操作設備時，出了一次責任事故，不得不把他調離生產線。

Yu先生是客家人，四十多歲，中等身材，忠厚老實，熱心於誌工活動。台灣的誌工，是一群充滿人性善和愛心美的群體。來自社會各行各業，年齡老中青都有。在天災人禍，醫院救護、心理救濟、家庭看護、大型活動中，都有熱心助人的誌工出現。

Yu先生對客家傳統文化的繼承和發揚特別熱心，經常在客家采茶劇公演活動中做誌工。他說，客家三腳采茶戲是客家人從江西贛南帶來台灣的，客家人把采茶戲當作自已的傳統文化，推陳出新，發展成台灣客家人喜聞樂見的優秀戲種。客家采茶劇團很多，但都很小，以廟門前的廣場演出為主，配合重要神明誕生的日子或是其他慶典，如義民節或是歲未的打醮等。新竹市的文化中心經常會把這些小劇團組織起來，排練成大型戲劇，在大劇場公演，並由電視台轉播，以擴大客家采茶戲的影響力。演出經費由政府提供，演出服務人員由招募誌工解決。他還說，他們正在演出的是有關客家人抗日的故事，劇本是客家人寫的，在客家人社區很受讚揚。誌工還幫助推銷劇票，實際上是募捐，Yu先生給我一張票，我要給他錢，他死活不要。

還有一位Pong先生，是設備工程師，他經常問我一些有關設備方麵的問題。閑談時，我了解到，他也是客家人，四十來歲，身材適中，腰圓體胖，背有點駝。他家在農村，離科學園不遠，是山區，以種茶為主。據說，以前沒修公路，到新竹市區要走兩天的山路，現在開車兩個小時就到了。Pong先生喜好樂器，特別是黑管，吹奏一曲鄧麗君的“月亮代表我的心”，賞心悅耳，讓人讚不絕口。他是一個業餘樂隊的成員，經常參加演出。如果是婚喪嫁娶，還會有一筆很可觀的收入。

Pong先生告訴我，他住的農村，是一個Pong姓大家族，五代同村，200多人，全都姓一個姓，名字都按祖定的輩份排列。近幾十年來，村裏的年青人渴望自主，不少人離開家庭，出外謀生。留在村裏的，也不願和長輩住在一起，要獨立生活，所以村子裏幾代同堂的大家庭已不多見了。不過，每年清明節，全村的人都會聚集在一起祭祖掃墓，表示對祖先的尊敬與懷念。住在外地的人，也都會趕回村，參加這個家族的大型活動。追本溯源，不忘遺訓，這是中華民族歷代沿襲的傳統，作為中華兒女的我們，應該繼承和發揚！

一年多的專利實施過程，我和工程師們都有很大收獲，有產品成果，有技術成長，還有友誼建立。工程師們都年輕，他（她）們都很尊重我，把我看作是專家，也看作是長輩，親熱得像家人。