重劍無鋒，大巧不工的清華EUV光刻機方案

來源: 半城雨 於 2023-09-13 20:43:24 [] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (108 bytes)

提出的人居然不是光刻機業內的，進一步證明捅透窗戶紙的手段不止一種。

所有跟帖： 

• "對QinHua老師佩服的五體投地“ -zhoufang- ♂ 給 zhoufang 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:45:19

• 同時解決EUV光源小型化和光源能量限製 -半城雨- ♂ 給 半城雨 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:46:42

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