"中國擬建SSMB-EUV光刻廠，超越ASML往往僅在一念之差"

來源: zhoufang 於 2023-09-13 20:08:46 [] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (49 bytes)

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所有跟帖： 

• https://www.euvlitho.com/2021/S34.pdf -獵人之家- ♂ 給 獵人之家 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:27:35

• 這隻是光源。還需要一係列聚焦/糾正鏡頭.那才是難點 -huntridge- ♂ 給 huntridge 發送悄悄話 huntridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:38:36

• 大陸可能有不少smart engineers, qinHua, BeiDa ... -zhoufang- ♂ 給 zhoufang 發送悄悄話 (683 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:43:09

• 同讚 -常如- ♂ 給 常如 發送悄悄話 常如 的博客首頁 (264 bytes) () 09/14/2023 postreply 04:20:37

• 重劍無鋒，大巧不工的清華EUV光刻機方案 -半城雨- ♂ 給 半城雨 發送悄悄話 (108 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:43:24

• "對QinHua老師佩服的五體投地“ -zhoufang- ♂ 給 zhoufang 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:45:19

• 同時解決EUV光源小型化和光源能量限製 -半城雨- ♂ 給 半城雨 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:46:42

• ZT:現在國內光刻機三條主路線三個主抓手，最現實主義也是 -山上老熊- ♂ 給 山上老熊 發送悄悄話 (3983 bytes) () 09/13/2023 postreply 22:36:24

• 學習了。看來有戲！ -後院有樹- ♂ 給 後院有樹 發送悄悄話 (93 bytes) () 09/13/2023 postreply 23:05:06

• 謝老熊科普 -12qw- ♀ 給 12qw 發送悄悄話 12qw 的博客首頁 (0 bytes) () 09/14/2023 postreply 04:03:12

• ssmb-euv stands for what? thanks! -井底之蛙-77- ♂ 給 井底之蛙-77 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/14/2023 postreply 04:17:57

• 查到了, steady-state microbunching extreme violet (light). -井底之蛙-77- ♂ 給 井底之蛙-77 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/14/2023 postreply 05:14:07

• 妥妥的同步輻射啊 -韭菜又逢春- ♂ 給 韭菜又逢春 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/14/2023 postreply 05:58:36

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