同時解決EUV光源小型化和光源能量限製

來源: 半城雨於 2023-09-13 20:46:42 [檔案] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (0 bytes)

回答: 重劍無鋒，大巧不工的清華EUV光刻機方案由半城雨於 2023-09-13 20:43:24

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