中國的光刻機研製始於70年代，80年代初是在研項目最多的時候，後來一直電子部和科學院一直在做，電子部的隊伍最後並入上海微電

來源: nnndayd 於 2021-07-08 08:42:06 [檔案] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀：次 (0 bytes)

回答: 1972年大陸就研製出光刻機，1980年代被迫下馬。由 XYZ94538 於 2021-07-08 07:58:03

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