1972年大陸就研製出光刻機,1980年代被迫下馬。
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中國的光刻機研製始於70年代,80年代初是在研項目最多的時候,後來一直電子部和科學院一直在做,電子部的隊伍最後並入上海微電
-nnndayd-
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07/08/2021 postreply
08:42:06