EUV的困難在光源。 原理也很簡單，但工業實現非常困難。 不過估計兩三年後中國就可以拿下EUV光源，

來源: 大洋bridge 於 2025-10-24 22:40:18 [] [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (0 bytes)
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