EUV的困難在光源。 原理也很簡單,但工業實現非常困難。 不過估計兩三年後中國就可以拿下EUV光源,

來源: 2025-10-24 22:40:18 [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀: