還好DUV不是最先進的。比DUV先進的有EUV及發展中的High-NA EUV。
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EUV的困難在光源。 原理也很簡單,但工業實現非常困難。 不過估計兩三年後中國就可以拿下EUV光源,
-大洋bridge-
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10/24/2025 postreply
22:40:18