為了抗衡西方國家製裁,中國正千方百計自主研發國產芯片,但技術和設備方麵都被西方國家卡脖子。現在就連生產半導體的光刻膠材料,都是由國外(主要是日本)大廠所主導。
目前全球光刻膠主要企業有日本合成橡膠(JSR)、東京應化(TOK)、住友化學、信越化學、陶氏化學等,占市場份額超過85%。
據大陸集微網報道,由於日本年初地震影響,信越化學KrF光刻膠產線受到很大程度的破壞,至今尚未完全恢複生產,在產線受到影響和晶圓廠擴產等多方因素下,信越化學不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應KrF光刻膠。雖然東京應化(TOK)填補了信越化學海外大部分缺失的KrF光刻膠產能,但目前仍存在不小的缺口。
報道指,全球半導體光刻膠被日本合成橡膠(JSR)、TOK、住友化學、信越化學,以及美國陶氏化學所主導。JSR是現在全球最大的,技術是最領先的光刻膠龍頭,Intel、三星和台積電都是JSR核心客戶,I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產品全覆蓋。TOK專注於做光刻膠及配套試劑,在G線、I線,KrF和ArF都有些市場份額。陶氏的光刻膠事業部已經並入杜邦,客戶是Intel、IBM體係,但在大陸市場占有率不是很高。信越化學主要切入點就是從KrF和ArF開始,EUV光刻膠也在開發,在中國大陸有不少FAB廠客戶。
高質國產光刻膠的自給率不足5%
今年以來,除了台積電、三星、英特爾、聯電等晶圓廠積極擴產外,中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴產和產能釋放,這也就導致國內光刻膠需求量遠大於本土產量,且差額逐年擴大,尤其是在高端KrF、ArF等半導體光刻膠。
然而,截至目前,國內能夠批量供應KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數不多。根據SEMI數據,日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%,而國內g線/i線自給率約為20%,KrF光刻膠的自給率不足5%,12寸矽片的ArF光刻膠目前尚無國內企業可以大規模生產。
集微網引述業內人士表示,未來國內多家晶圓廠或將麵臨KrF光刻膠大缺貨的處境,彤程新材(603650)作為目前國內唯一一家能夠供應KrF光刻膠的廠商,大陸多家晶圓廠正在加速驗證導入其子公司北京科華的KrF光刻膠。