中國的第一台光刻機是1965年，搜索一下就能查到

來源: speedingticket 於 2022-11-05 05:40:39 [] [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀： 次 (233 bytes)

1961年，美國GCA公司製造出了第一台接觸式光刻機。 而一個廣為流傳的說法是，1966年，中科院下屬109廠就與上海光學儀器廠協作，研製成功了我國第一台65型接觸式光刻機

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