極紫外光源哈工大已經搞出來了，估計在開始研究集成到光刻機上，有個3、5年應該差不多了，阿斯邁也著急啊

來源: Westmont 於 2023-09-07 18:52:26 [] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀： 次 (0 bytes)

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• 2017年中科院和2021年的五道口技工都宣布過解決了EUV光源的問題 -一年回國一次- ♂ 給 一年回國一次 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/07/2023 postreply 23:06:20

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