小道消息:
2023年4月13日下午,中國科學院院士、中國科學院前院長白春禮到長春光機所調研,對其研製成功極紫外光刻機重要部件-- EUV 光源工程化樣機表示高度肯定。
工程樣機成功,雖然沒有透露是不是已經解決穩定性、可靠性、工作時長等。不過這絕對是石破天驚的進展了,因為鏡片也有報道成功搞定0.5nm精度的產品。
-------------------------------------------
摸索/開創道路是偉大的也是極其艱難/成本高昂,
後麵跟著的,雖然也難,但好歹知道大概方向
試錯成本大大降低