中國光刻機的真實現狀。2026年最大進展，是28nm浸沒式DUV光刻機批量交付，良率90%以上，國產化率90%以上。

https://zhuanlan.zhihu.com/p/2028184174327080121

所有跟帖： 

• 作為對照，阿斯麥在華銷量下降23%。EUV光刻機隻完成原型機組裝和初步光刻試驗。光源功率需從50W提升至250W以上。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:35:57

• 差距一，先進製程差距明顯。EUV商業化仍需5年以上。差距三，專利與生態壁壘：國產光刻機無法進入全球供應鏈，芯片產品也不行 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:44:59

• 今年目標是12nm市場突破 -霸天虎- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:39:35

• 文章中提到，2025年3月，深圳新凱來宣布7nm DUV光刻機實現量產，依托四重曝光技術，覆蓋5nm—28nm全製程。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:46:18

• 中芯國際依托國產DUV光刻機，通過多重曝光工藝，已實現7nm芯片穩定量產。這應該就是華為AI芯片和手機芯片的製造工藝。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:47:57

• 兩年前美國科技網紅就發現，華為AI芯片上，沒有阿斯麥光刻機通用的對齊圖案。現在看來，應該就是中國自產28納米光刻機。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:49:49

• 問了ChatGPT‘中國能夠生產5nm AI芯片嗎？’。回答：能夠！同問，DeepSeek也說能夠。 -panlm_- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:03:51

• 一看就是不合邏輯的自媒體爽文。 -bustout- ♀ (829 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:59:10

• 1.文內說的是晶圓流片良率。 2：批量交付本身就是進度點， 3：哪個國家是100%全自產？一邊批老中太獨一邊說不夠獨 -dakinglaile- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:34:01

• 中國半導體產業如果跟光伏產業，電動車產業一樣，做到了百分之百全部國產，網上對中國半導體的批評，隻會更猛烈。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:56:36

• 沒錯。100%國產化這種標準就是個莫名其妙標準，做不做得到都是個罪。 -dakinglaile- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:58:39

• 不自產，你賣呀？ -Simiguy- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 10:36:00