光源和光刻機其他部件相對獨立，如果SSME成立也可以用到ASML。就是說光源問題大致解決了，

來源: 大洋bridge 於 2023-09-16 11:47:28 [] [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀： 次 (0 bytes)

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• 當然類似ASML的錫滴打靶的光源也在搞，據說也有了初步成功， -大洋bridge- ♂ 給 大洋bridge 發送悄悄話 大洋bridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/16/2023 postreply 11:54:08

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