不能說是謠言,2021年2月清華和德國還有斯坦福三方在自然上發的文章,用德國的加速器證明了SSME可以產生大功率極紫

來源: 鬼不靈 2023-09-16 11:36:32 [] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀: 次 (454 bytes)
本文內容已被 [ 鬼不靈 ] 在 2023-09-16 11:43:13 編輯過。如有問題,請報告版主或論壇管理刪除.

但這個技術應用到光刻機上還有很長的路,有些坎坷無法預料

https://www.slkoric.com/other-else-55208/572657.html

https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33627811/

 

所有跟帖: 

光源和光刻機其他部件相對獨立,如果SSME成立也可以用到ASML。就是說光源問題大致解決了, -大洋bridge- 給 大洋bridge 發送悄悄話 大洋bridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/16/2023 postreply 11:47:28

當然類似ASML的錫滴打靶的光源也在搞,據說也有了初步成功, -大洋bridge- 給 大洋bridge 發送悄悄話 大洋bridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/16/2023 postreply 11:54:08

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