勇擔“國之使命”：一名旅美博士的歸國路
2012年09月28日09:35
薑謙是沈陽拓荊科技有限公司總經理。他祖籍遼寧，生於台灣，美國布蘭迪斯大學物理學博士，主要專長是半導體先進工藝技術及工藝集成等領域，曾在英特爾公司工作19年，擔任研發部負責人。
回國前，他任美國諾發公司(美國第二大IC裝備企業)技術副總裁，在集成電路工藝方麵有很深造詣，其多項關鍵發明成為半導體行業國際標準，擁有50餘項專利，在行業內被譽為具有“一個人帶動一個產業”的能力。
鑒於他的行業影響力，在中科院和沈陽市政府的邀請下，2005年，薑謙返回祖國、返回家鄉，擔任在遼寧省內落實的國家級科研項目的負責人。
雖然論血緣，薑謙是地地道道的東北人，他父親是遼寧遼陽人、母親是吉林白城人，但他與東北的真正情緣，是在一次邂逅中建立的。
2005年，中科院和沈陽市政府派出代表團赴美國招商訪問，作為接待方的“駐美中國東北同鄉會”負責人，希望能夠找到一位“有權威、有份量”的東北同鄉來迎接代表團。於是，薑謙作為東北同鄉的傑出代表，陪伴國內代表團考察、訪問。
當時全球IC設備市場完全被美、德、日、瑞士等生產商壟斷，中國在該領域的發展剛剛起步，需要一位行業權威帶領中國IC裝備製造業突出重圍，突破歐美國家的技術封鎖。
薑謙所任職的企業，完全控製在白人高管的手中，作為研發主管的他，曾經提議將研發中心搬遷到亞洲，卻遭到了白人領導層的反對和抵製。
薑謙和代表團的這次邂逅，讓雙方一下子找到了尋覓已久的“夢中情人”並成功“牽手”。薑謙放棄了在美國優越的生活，回國創業。而中科院和沈陽市政府也將把“國之使命”交付給這位國際知名專家。
2006年，薑謙回到祖國，來到了沈陽渾南國家級高新技術產業園區創業，成立了沈陽拓荊科技有限公司。他還作為沈陽市政府顧問，對沈陽發展IC裝備業提出了很多建設性的意見，為沈陽的IC裝備產業在全國樹立領軍地位，奠定了決定性的基礎。
薑謙短時間就完成了國家發改委項目“IC成膜6英寸PECVD設備研發及產業化”的研發，質量和品質達到國際先進水平，填補了國內該領域應用的空白，現已批量生產和銷售，被評為國家重點新產品。
經過多年努力，2011年10月，由薑謙擔綱的國家重大科技專項的首台國產12英寸PECVD樣機出廠，指標達到設計要求，這是我國自主開發研製的首台12英寸PECVD設備，是關鍵IC裝備國產化的重大突破。
12英寸PECVD技術一直被歐美以及日本等國家所壟斷，設備進口受到發達國家的嚴格限製。擁有完全自主知識產權的12英寸PECVD設備樣機成功研 發，不僅標誌著我國在集成電路高端設備(PECVD)研究和製造領域技術達到了國際先進水平，使我國IC薄膜設備製造水平與國際IC製造業主流技術水平保 持同步，還從根本上打破了國外產品的市場壟斷和技術壟斷，而且確立了沈陽在全國的集成電路裝備研發與製造領域同北京、上海三足鼎立的地位。(記者：王晨)
