不過中國上海微電子去年九月份已經申請EUV 專利， 應該取得了不少進展。

來源: 94327956 於 2024-09-14 23:50:43 [] [舊帖] [給我悄悄話] 閱讀數 : (0 bytes)
回答: 第一，第二是誰？ 由 夏荷幽夢 於 2024-09-14 23:48:13

所有跟帖： 

• 俺以為他家出來了呢。看來還是有難度。哈哈。 -sunlake- ♂ 給 sunlake 發送悄悄話 sunlake 的博客首頁 (0 bytes) () 09/14/2024 postreply 23:52:04

• 世界沒有一個國家能獨立生產EUV 光刻機，中國將是全球第一家完全獨立生產EUV 光刻機的國家 -94327956- ♂ 給 94327956 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/14/2024 postreply 23:54:15

• 確實是大工程。太難了 -sunlake- ♂ 給 sunlake 發送悄悄話 sunlake 的博客首頁 (0 bytes) () 09/14/2024 postreply 23:57:04

• 複雜的係統工程，DUV算是搭好了一個框架，再往前走會容易一些。 -淺水魚- ♀ 給 淺水魚 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/15/2024 postreply 00:04:31

• 很難，但起步了，就快了 -夏荷幽夢- ♂ 給 夏荷幽夢 發送悄悄話 夏荷幽夢 的博客首頁 (0 bytes) () 09/15/2024 postreply 00:04:35

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