北方微電子NMC612B-28矽刻蝕機獲得中芯國際采購訂單誰說說這事兒

來源: ouyanghui 於 2014-04-07 20:29:39 [檔案] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀：次 (3524 bytes)

日期：2014年1月20日

辭舊迎新之際，我國集成電路高端裝備產業再傳捷報，由北方微電子公司自主研發的12英寸28納米等離子矽刻蝕機全麵通過中芯國際生產線全流程工藝驗證，並獲得客戶訂單，標誌著中國集成電路高端裝備國產化取得新的突破。 ...華嶽論壇 - "http://washeng.net"

近年來，我國集成電路產業在國家重大專項的支持下不斷取得豐碩成果，北方微電子研發的等離子矽刻蝕機便是其中之一。集成電路產業是支撐當今科學技術發展的基礎產業，其製造水平是衡量一個國家高科技發展水平的重要標誌，而用來加工製造集成電路芯片的工藝設備更占據著整個產業鏈的高端，成為先進國家科技競爭能力的標誌。目前國際上代工業進入規模量產的最高水平是28納米技術，相比40納米技術，可使集成電路的功耗更小、速度更快、成本更低，主要應用於CPU、存儲器、移動通信、數字音視頻等高端芯片產品，目前這類高端芯片還主要依賴進口。值得欣慰的是，我國集成電路製造技術依靠多年的艱辛努力也實現了飛躍發展，即將迎來28納米技術時代。 ...華嶽論壇 - "http://hua-yue.net"

等離子刻蝕設備是眾多集成電路製造設備中最核心裝備之一，其目的是完整的將電路設計圖案複製到矽片表麵，在矽片表麵實現三維精細加工，形成各種形狀的槽和孔，加工槽的寬度最小尺寸在28納米尺度。加工一片12英寸矽片，晶體管柵極刻蝕的數量大於一萬億個，且成功率要高於99.999％，才能保證整個芯片的成品率高於98％，這萬億個柵極寬度的變化不能大於3納米，而深度的控製更是在幾個原子層的厚度，因此對係統的工藝能力和穩定性要求極高。 ...華嶽論壇 - "http://washeng.net"

在今天沒有任何一個集成電路芯片能在缺乏等離子刻蝕技術情況下完成，刻蝕設備也在整個芯片廠的設備投資中占據高達近15%以上的比重。最先進的等離子矽刻蝕設備凝聚著數十個科技領域的菁華，涵蓋超潔淨技術、射頻等離子體技術、高真空技術、材料技術、磁場控製和屏蔽技術、軟件與控製技術、機器人與自動化技術、高純氣體與化學腐蝕技術、計算機模擬仿真等諸多領域。目前國際上也僅有美國和日本各一家企業能夠提供滿足28納米生產線的成熟設備。長期以來，高端刻蝕設備一直是製約我國集成電路產業發展的瓶頸，目前20納米以下技術西方國家仍然對我國進行技術封鎖和使用限製。 ...華嶽論壇 - "http://hua-yue.net"

北方微電子成立於2001年，一直致力於高端刻蝕設備的自主開發和產業化，2006年就研發成功我國第一台8英寸100納米高密度等離子刻蝕機，填補了我國高端集成電路裝備領域的空白，因此而獲得國家科技進步二等獎的殊榮。2012年又完成了國內第一台65納米矽刻蝕機的大生產線銷售，此次將28納米矽刻蝕設備推向市場標誌著我國在高端集成電路裝備領域第一次實現與主流生產線的需求同步。 ...華嶽論壇 - "http://washeng.net"

北方微電子正式發布的麵向28納米的矽刻蝕設備，不但突破了精密等離子體控製、更高精確的矽片表麵溫度控製、更高的氣流均勻控製等多項關鍵技術，以全新的硬件設計滿足了客戶在STI以及未來Double patterning、HKMG等先進製程中對刻蝕工藝提出的高速率、高均勻性、低損傷和低缺陷、精確尺寸和形貌控製、低顆粒汙染等要求，在多項工藝、特別是產品良率等關鍵指標上達到國際先進水平。 ...華嶽論壇 - "http://hua-yue.net"

曆經十餘年的耕耘，北方微電子在中國集成電路產業成績卓著，無論8英寸或12英寸矽刻蝕設備，都以先進的工藝指標、競爭力的價格和完善的客戶服務打破了進口設備的壟斷局麵。同時在先進封裝、LED、MEMS等泛半導體相關領域也成績斐然，獲得越來越高的產業認可度和市場占有率。 ...華嶽論壇 - "http://washeng.net"

新的一年，新的開始，中國集成電路裝備產業會與中國集成電路芯片製造產業一道譜寫新的篇章。