長江存儲CEO:已采購光刻機連零件也拿不到，我國光刻機能否自力更生？
- 瀏覽次數：234 發布日期：2023年7月25日 來源：芯榜ipo
日本23種高性能半導體製造設備出口管製7月23日生效。 此舉旨在防止中國生產先進半導體，也是對美國收緊對華限製的響應。
據了解，日本此次限製出口的23種半導體材料和設備中包括了多種關鍵性材料，例如氟化氫、蝕刻液、聚酰亞胺和高純度氮等，適用於半導體製造過程中不同階段。
事實上除了日本半導體設備和材料對中國出口管製之外，ASML光刻機早就對中國半導體公司下手了。
2023上海半導體展會上，長江存儲CEO陳南翔：“美國禁用光刻機的配件，長江存儲連零件都拿不到”，“國產替代連退路都沒有。”
陳南翔表示：現在長江存儲現在的問題不是買不到芯片的先進設備了，而是以前設備零件都買不到了。這就導致設備壞了，連修都修不了！而隻能像廢鐵那樣攤在那裏。
上海半導體展會上，長江存儲CEO陳南翔的講話引起了巨大的轟動和震驚。他的言論揭示了中國半導體產業麵臨的嚴峻挑戰和困境。
最有潛力的大陸市場
對於ASML來說，中國大陸2022年貢獻15%的營收。雖然比不上台灣和韓國等地區，但是對於ASML來說，中國大陸市場潛力是最大的。
眾所周知，ASML股權結構複雜美國資本是ASML最大股東，能從中國大陸賺多少錢也並不是荷蘭ASML說了算。在當下我國加大對半導體投資的現狀下，對光刻機的需求將節節攀升，若是拋開半導體設備禁運，未來我國對ASML的業績貢獻將更有潛力。
根據阿斯麥年報，2020年~20223年間，中國大陸市場對ASML營收占比分別是18%、17%、15%呈逐年下滑的態勢，並不是說上海微電子的國產光刻機崛起了實現國產替代，而是買不到ASML先進的光刻機了。
過去，針對中國光刻機禁運ASML表示隻限製幾款高端機型，而且可能會推出中國的特供版，以求繞開美國管製。從商業角度來看，ASML在國家政治鬥爭中也是犧牲品，ASML正在逐漸損失中國這個潛力巨大的客戶。
在當下，消費電子出貨量不佳，對半導體的拉動疲軟。半導體設備領域ASML獨占鼇頭，中國大陸市場非常需要ASML的產品，不僅僅是ASML高端DUV和EUV光刻機，還有測試、掃描設備等等。在過去中國大陸的晶圓廠招標ASML頻繁中標。
光刻機我國能否自力更生？
從長江存儲CEO陳南翔在會上表述，當下ASML高端DUV和EUV光刻機與中國無緣，除此之外已經采購光刻機的配件、零部件也難如登天，中國大陸若喪失ASML技術支持，又能否自力更生？
壓力給到上海微電子，作為主機廠目前量產90nm光刻機，可以滿足WiFi、LCD驅動、電源管理、射頻以及各類數模混合芯片的需求。據了解28nm也技術已經突破交付了樣機，但是還沒有量產。
但是從全局的角度看，光刻機國產替代並不是上海微電子一家的責任，因為以美國為首的國家不光限製光刻機整機出口，零部件以及配套設施也加以限製。想實現光刻機國產化需要有一個完整上下遊供應鏈，各方向都實現突破，才能夠真正擺脫限製。
ASML之所以能夠成為全球獨一無二的光刻機供應商，主要就是背後有一套強大的供應商體係，能夠滿足ASML各種技術要求。從光刻機的5大核心組件來看，中國大陸的國產化水平到底怎麽樣？
1，激光光源是最核心的零部件，從光刻機的發展路徑來看，曆經了三代光源類型，分別是紫外光、深紫外光和極紫外光，從具體的光源技術來看的話，依次是g線、I線、krf，Arf和EUV一共5代。
國際上能夠提供EUV光源的公司隻有兩家，一個是美國的Cymer，一個是日本的Gigaphoton。
而在中國大陸科益宏源已經突破了Arf光源，供應上海微電子28nm光刻機。包括幹式190nm，也包括浸潤式190nm都已經攻克了，EUV光源是由中科院長春光機所與哈工大聯合攻克的。
2，光刻機物鏡係統，奧普光電已經做到90nm製程水平，但是與國際水平的差距是非常懸殊的。光刻機其實某種程度上就是個照相機，光學技術是它最核心的壁壘之一。
光刻機的光學係統主要就包括了物鏡、反射鏡、偏振器、濾光片和光纜等幾大組件，其中物鏡的難度係數是最高，目前德國蔡司是其中翹楚。ASML是蔡司在光刻機光學業務上的獨家客戶。ASML EUV光刻機物鏡係統的鏡麵誤差在原子級別隻有0.025nm，這個水平中國大陸暫時難以望其項背。
3，雙工台在中國大陸清華大學和華卓精科合作已經實現了10米，注意這裏的10nm指的是運動精度為10nm。相比之下ASML為2nm.
4，浸潤係統方麵，浙江啟爾機電已經突破了Arif技術。在這裏我們再解釋一下 DUV光刻機是分為krf、Arf和Arfi三中。雖然國產光刻機還停留在幹式 DUV，但是Arfi技術已經初具水平。
5，塗膠顯影設備，中國大陸在這個方麵的龍頭企業是沈陽的芯源微，在2022年就已經宣布在28nm及以上製程實現了全麵國產化替代。那麽這一類設備主要包括塗膠機、噴膠機和顯影機等等。在全球範圍內塗膠顯影設備領域是一個高度壟斷的行業，有接近90%的市場被日本的東京電子占據，芯源微占比約0.7%。
光刻膠krf已經突破，Arf待突破。根據光源的不同，每一種光刻機都會有單獨的一種光刻膠來適配，而目前中國大陸的對外依賴程度高達80%，根據上市公司的公告數據用於6英寸晶圓的j線I線光合膠自給率隻有20%，而適用於8英寸晶圓的krf光合膠已經突破，但是自給率也小於5%。
而12英寸晶圓要用到的Arf光合膠目前依然需要進口，其中生產krf光合膠的這家企業是北京科華應該是目前唯一量產的一家。
整體來說中國大陸的光刻機從整機來看已經是第四代的水平，但是從本土供應鏈來看，木桶效應還比較的明顯，尤其是光刻膠這類耗材仍然是嚴重依賴進口。
選擇“Disable on www.wenxuecity.com”
選擇“don't run on pages on this domain”
