出大事了：國產EUV光刻膠單體通過客戶驗證

中試線指在正式量產之前的中等規模生產線，兼具改進觀察的試驗作用。通過驗證後就可以正式建設生產線量產了！

實際上早在2018年5月24日，國產極紫外光刻膠（EUV光刻膠）已經通過項目驗收。 

 

《電子產品世界》發布的新聞截圖 

 

根據“中國發展門戶網”發布的報道，這種光刻膠是靠上海光源來測試驗證的。 

 

“中國發展門戶網”發布的報道截圖 

 

當然，光刻膠通過驗收隻能說明這種光刻膠能用，至於是否好用，那就需要上EUV設備實際測試驗證才行，根據測試結果，不斷調整EUV光刻膠配方參數，直到曝光良率達到很高的水平，才能商用。否則一旦良率不高，就會給生產線造成巨大損失。

至於EUV光刻膠單體是什麽東西呢？

光刻膠主要由成膜樹脂、增感劑、活性單體、溶劑和助劑組成。EUV光刻膠單體其實就是用於極紫外光照射時產生光敏反應的一種化學成分，是光刻膠核心成分，也是成本占比超60%的最重要成分。

由於國產EUV光刻膠早已通過驗收，因此我國早已具備EUV光刻膠研製能力。但從驗收到量產，還需要進行中試，這就需要實際上機測試。隻能等國產EUV設備通過驗收才行。

光刻膠研發分為五個階段， TDS（實驗室試樣）、PRS（基礎工藝考核）、STR（小批量試產）、MSTR（中試）、RELEASE（量產）。

如果國產EUV光刻膠單體能夠通過中試，那就可以量產了。而最重要的單體量產以後，就意味著EUV光刻膠很快就能量產，這個過程需要EUV設備不斷進行產線測試。

早在8月7日，瑞聯新材披露投資者就曾披露， EUV 光刻膠已經通過客戶小試驗證，正在做量產驗證，國內客戶更多的是處於合作研發或送樣階段。這其中提到送樣階段，那就說明國內已有EUV工程樣機來測試。

為什麽不能用EUV光源工程樣機來測試呢？因為EUV光源發出的光並不純，需要經過物鏡多次反射才能純化成EUV光。因此EUV光源工程樣機根本無法用於追求量產的EUV光刻膠小批量測試和中試。

《南方都市報》報道截圖 

 

考慮到2023年度吉林省科學技術獎提名項目就包括了“EUV 整體技術突破”、“EUV 物鏡相關技術”以及“超高精度光刻機投影物鏡係統波像差檢測技術”等技術，說明EUV工程樣機所需的三大關鍵零部件均已經造出來。 

 

所有跟帖： 

• 延申解讀是不是過了？ -cn_abcd- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 06:36:45

• 這麽快就攻克光刻膠技術了，沒想到啊！ -為人父- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 06:44:46

• 中國現在是化學工業大國 -cn_abcd- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 06:45:26

• 耐人尋味的是“客戶是誰？” -鷺島達叔- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 06:56:32

• 隻恨老美限令發的太遲，早十年就限中國早就有了。現在也都是白菜價了。 -thundersong- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 07:27:39

• 差不多 -94327956- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 07:33:10

• 多大點兒事兒，紅紅們雞凍得流眼淚了 -玻璃坊- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 07:53:54

• 中國光刻機幾乎每個月都會突破一次。每次都讓美國尿了 -白雪紅塵- ♀ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 07:59:00

• 讀貼要認真: 光刻膠 不同於 光刻機 -保深- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 08:36:45

• 重大事件。值得多方麵深入探討。 -easycity- ♂ (0 bytes) () 11/01/2023 postreply 08:01:20