不用EUV 或是DUV 也能製造5 納米芯片。“5納米芯片製造的直接蝕刻方法”專利公布

不用光刻機EUV!5納米芯片製造方法專利公布

兩三杯可樂

原創

09-16

近日，上海創消新技術發展有限公司申請的“5納米芯片製造的直接蝕刻方法”專利公布。該發明涉及芯片設計及製造，方案是：按5納米蝕刻線寬設計芯片版圖，設計蝕刻掩模版後，用激光直寫光刻機刻出蝕刻掩模版；晶圓準備好後將蝕刻掩模版緊靠晶圓上表麵，用等離子體進行幹法蝕刻，蝕刻結束後移去蝕刻掩模版，清潔晶圓，進行後續常規的芯片製造步驟。這項發明的亮點在於，不用EUV光刻機或DUV光刻機，不需要光刻過程，直接蝕刻就可以製造5納米芯片。 上海創消新技術發展有限公司成立於2019年3月，法定代表人為劉明革，注冊資本50萬人民幣，經營範圍包括電子技術、化工技術、建築技術、生物技術領域內的技術開發等，由劉明革和劉佳慧共同持股。未來幾年，我們期待上海創消新技術發展有限公司能夠在芯片製造領域取得更多的突破性成果，並將這項新技術推向商業化階段。對於整個半導體行業來說，這種創新技術的出現無疑帶來了新的希望和動力，推動行業不斷向前發展，邁向更先進的製造工藝和更廣闊的應用領域。盡管目前這項

所有跟帖： 

• 厲害國又像文革時，天天放衛星。 -weijiashan- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 07:57:46

• 好事，中共有這麽好技術幹脆點脫鉤自己造，讓西方供應商餓死，別磨磨幾幾 -aluminiums- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:01:00

• 快了，沒幾年了，西方新能源，通信設備商屍橫遍野的場景過幾年又會在西方芯片行業中演繹一遍 -海之塵HZC- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:06:34

• 就是未日到了也有人明明知道卻賴著不逃回國，大概精神分裂吧 -aluminiums- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:38:00

• 可以代理中國的芯片賣給美國公司啊，這個生意多駕輕就熟啊，哈哈 -海之塵HZC- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:50:07

• 放心，天朝獨立自主的芯片永遠比西方至少差兩代 -玻璃坊- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:44:34

• 兄台沒讀過高中沒學過相對論？時間是相對的知道不？ -海之塵HZC- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:50:51

• 您高中的時候就研習相對論了？此等神通在壇子裏瞎混什麽，多用功沒準兒能得個炸藥獎LOL -玻璃坊- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 09:12:55

• 這些都隻是可能性的一種，還是那句話，小孩才做選擇題，大人全都要 -海之塵HZC- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:05:17

• 盡管目前這項？？？轉都不敢轉完整，哈哈。 -MoonlightBee- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:05:18

• 說說看我是怎麽唯恐的？又在胡說八道！ -MoonlightBee- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:21:48

• 在美國愛中共是人格分裂！ -玻璃坊- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:45:24

• 始終不理解這一輩子不為自己最愛的國家去做貢獻是為了什麽？那怎麽叫愛啊？ -MoonlightBee- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:15:53

• 不就雕刻一塊小矽片嗎？眼睛視力好的，比如我，裸眼視力2.0的，手工都能刻 -交易員- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:13:21

• 中國人好這一口 -cowpi- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:33:48

• 不可能！中共國輕視這些雕蟲小技，造出原子彈、氫彈的都當不上副部級，雕刻芯片更不可能！ -交易員- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:40:45

• 蔡奇造出什麽了？ -cowpi- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:46:27

• 目前看可行性為0. -huntridge- ♂ (0 bytes) () 09/17/2023 postreply 08:21:28