網傳中國EUV 光刻房明年交付使用。中國這個發明將顛覆EUV光刻機行業,將實現換道超車。

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光刻房長100 米,寬20 米。 中國EUV 功率強大,輸出功率是10000瓦,而荷蘭的EUV 光刻機的輸出功率隻有250 瓦。 因為中國的EUV功率強大,一次曝光就能刻三納米,而不是像荷蘭那樣要多次曝光才能刻三納米。台積電的三納米良率不是很高,蘋果讓其自己吸納次品的額外費用。

中國的EUV 光刻房概念顛覆ASML 的光刻機,一個光刻房可以帶很多EUV 光刻工作台。中國一個EUV 光刻台就相當於一個荷蘭的EUV光刻機。因為中國光刻機是一次曝光就能刻到三納米,良品率理論上也會很高。

據說中國光刻房今年下半年驗收,明年就可以交付使用。因為輸出功率很大,耗電也很厲害,發熱問題也需要解決。這些都不是解決不了的問題。 中國太陽能發電每年浪費掉很多,因為不能儲能。

所有跟帖: 

實現換道超車後,前麵就沒路可走了. -最接近太陽的人- 給 最接近太陽的人 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 05:13:46

真會超車前麵應該有很多路可選 -huntridge- 給 huntridge 發送悄悄話 huntridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 05:20:02

這設計奇葩。懷疑中 -huntridge- 給 huntridge 發送悄悄話 huntridge 的博客首頁 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 05:18:43

從EUV樣機到定型起馬十年八年 -thundersong- 給 thundersong 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 05:50:55

也不好說。就像疫苗一樣,一般要走好幾年的流程。但大流行病期間,不到一年就通過了。 -小米幹飯- 給 小米幹飯 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 07:38:49

那就騎驢唄! -密碼忘記了- 給 密碼忘記了 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 09:22:03

這種純屬胡說的東西也貼在這裏。清華在雄安建的EUV光源是1千瓦,才剛開工。 -youtub- 給 youtub 發送悄悄話 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 11:20:04

按照論文,輸出功率是1000瓦 -大智本行- 給 大智本行 發送悄悄話 大智本行 的博客首頁 (0 bytes) () 09/12/2023 postreply 15:32:31

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