為什麽國內的晶圓廠,用ASML的光刻機,但不願意用國產?

為什麽國內的晶圓廠,用ASML的光刻機,但不願意用國產? 

前段時間,有機構發布了一個數據,那就是全球前道光刻機的銷售情況表。

數據顯示,目前在前道光刻機上,國產光刻機的份額為0,全部被荷蘭的ASML、日本的尼康、佳能壟斷著。

先進工藝的就不說了,國產無法替代,但哪怕是國產光刻機覆蓋到的180nm以上的光刻機,大家都用的是ASML、尼康、佳能的,而不是國產的上海微電子的。

而有業內人士有示,目前國內的晶圓廠,在光刻機上,隻要有ASML的可買,就一般不會用國產光刻機,國產光刻機哪怕是不要錢,送到晶圓廠的,大家都愛用不愛,測試用的國產光刻機,用得非常少,都是在吃灰。

那麽問題就來了,為何晶圓們不願意用國產光刻機,更願意用ASML等廠商的國外貨,是崇洋媚外麽?

還真不是崇洋媚外在作祟,背後其實還是生態的問題。

我們知道芯片製造,是非常複雜的,需要幾十上百種設備,上百道工序,這些過程,由各種設備來協同工作。

這些設備之間,需要非常緊密的配合,而ASML的光刻機,與各種各樣的設備,早就形成了兼容以及協同,大家配合無間。

一旦光刻機換了,能不能與這一大批的國外設備兼容,且達到緊密的協同還真不好說。

同時,光刻機的精度,其實是一個寬度適應的,比如ArFi光刻機,可以用於7-45nm,而ArF幹式光刻機,可用於65-180nm。

ASML或尼康的光刻機,可以進行精度比較廣的適應,但是國產光刻機,技術相對較為落後,無法適應這麽寬的精度,甚至隻能專機專用,讓晶圓廠 也是左右為難,需要重複投資,原本一台ASML的光刻機搞定了,最後買了國產光刻機,還需要ASML的,投資浪費了。

還有,使用國產光刻機,讓晶圓廠對良率也產生了懷疑,良率就是晶圓廠的生命,決定了成本、效率等等。

所以大家一般情況下,更願意用成熟的,自己熟悉的產品,這樣保證自己的收入、成本、效率等,不願意冒險使用國產光刻機。

當然,目前在國產化的趨勢之下,國產光刻機也迎來了機會,但是如果在生態、與其它設備的兼容、工藝上進行提升,國產光刻機還是很難搶ASML的市場,晶圓廠們,並不太願意去用它。

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