2023年就有消息，中國的EUV光刻機在各項關鍵技術上取得突破。現在應該是樣機和配套的技術研製成功，中芯國際要試生產了。

來源: thore 於 2024-03-12 21:44:11 [] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀： 次 (0 bytes)

所有跟帖： 

• 牛 -年輪- ♂ 給 年輪 發送悄悄話 (0 bytes) () 03/12/2024 postreply 21:46:59

• 光刻機隻是EUV技術中的一環，其他的環節，比如光刻膠，也需要攻關突破，然後在生產中不斷改進。EUV全套生產線會非常複雜。 -thore- ♂ 給 thore 發送悄悄話 (0 bytes) () 03/12/2024 postreply 21:57:27

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