給定DUV,量產14ns的良率遠高於量產7ns的良率。多重曝光要求極高的alignment精度,差一點就費了,是不經濟的

來源: 十具 2023-10-21 08:46:51 [] [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀: 次 (27 bytes)

不得已之法。

所有跟帖: 

沒那麽絕對。台積電美國廠的毛利率預期可是比台灣廠低一半。 -dakinglaile- 給 dakinglaile 發送悄悄話 dakinglaile 的博客首頁 (0 bytes) () 10/21/2023 postreply 13:37:59

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