不得已之法。
給定DUV,量產14ns的良率遠高於量產7ns的良率。多重曝光要求極高的alignment精度,差一點就費了,是不經濟的
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沒那麽絕對。台積電美國廠的毛利率預期可是比台灣廠低一半。
-dakinglaile-
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10/21/2023 postreply
13:37:59