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中國造出全球首台新式光刻機 芯片荒有救了(圖) ZT

(2018-11-30 11:53:27) 下一個

中國造出全球首台新式光刻機 芯片荒有救了(圖)

文章來源:  於  - 新聞取自各大新聞媒體，新聞內容並不代表本網立場！
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中國在芯片領域遭遇西方掣肘（圖源：VCG）



北京時間11月29日，中國科研機構宣布“超分辨光刻裝備研製”項目通過驗收，成為全球首台用紫外光源實現的22納米分辨率的光刻機




據中國《科技日報》報道，中科院光電技術研究所項目副總師胡鬆透露，新驗收的光刻機，使用了365納米紫外光的汞燈，一隻費用僅為數萬元（1元人民幣約合0.1438美元），而光刻機整機價格在百萬元至千萬元級。





中國科研機構研製新型光刻機（圖源：中科院科技攝影聯盟）



胡鬆還說，中科院光電技術研究所研製的光刻機加工能力介於深紫外級和極紫外級之間，“讓很多用戶大喜過望”。



光刻機是集成電路製造業的核心角色。目前，使用深紫外光源的光刻機是主流，成像分辨力極限為34納米，分辨率進一步提高要用多重曝光等技術，很昂貴。



光刻機巨頭荷蘭ASML公司壟斷了尖端集成電路光刻機，加工極限為7納米。ASML的EUV光刻機使用的13.5納米的極紫外光源，價格高達3,000萬元，還要在真空下使用。



而中科院光電技術研究所的光刻機分辨率為22納米，擅長加工一係列納米功能器件，包括大口徑薄膜鏡、超導納米線單光子探測器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片和超表麵成像器件。



報道稱，中科院光電技術研究所目前已掌握超分辨光刻鏡頭、精密間隙檢測、納米級定位精度工件台、高深寬比刻蝕和多重圖形配套光刻工藝等核心專利，“技術完全自主可控，在超分辨成像光刻領域國際領先”。



雖然中國科研機構研發出新型光刻機，但荷蘭ASML公司研製的光刻機仍是中國客戶的首選。今年的5月底，據荷蘭媒體報道，中國芯片巨頭“長江存儲”從ASML訂購的價值7,200萬美元的光刻機運抵湖北武漢。



另日本媒體報道，中國另一家芯片製造企業中芯國際也向ASML公司訂購一台價值1.2億美元的光刻機，預計將在2019年交貨。



繼中興通訊、福建晉華後，據報道，美國考慮製裁中國監控設備巨頭海康威視，切斷芯片供應。而這會促使中國加快應用國產裝備的步伐。

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相關新聞

 

京工人 發表評論於 
完了，2025年高端芯片被中國下放到縣一級工廠生產，論斤賣，高通英特爾台積電統統倒閉，中國芯片千秋萬代一統江湖
一條小路 發表評論於 
好！可以與美國斷交了。二胖贏了。
亂石穿空 發表評論於 
theriver1 是內行。有一點商榷，台積電7nm還是用的DUV。
世界之央 發表評論於 
因為這是新路子嚐試的開始，新路子的不斷提高（任何最先進技術都是一步步走出來的），將使該領域進入新的階段。

目前，至於用10000塊買最先進的還是用100塊買比較先進的，都是市場決定的。市場也會使該領域進入新的階段。。。新路子在不斷提高中，100塊就可能買到最先進的了，那麽目前的最先進就沒有活路了！
cohcoh 發表評論於 
不要和台積電的7納米製程混淆了。太極殿不生產光刻機，隻是在製程上實現了7納米。中國大陸這台光刻機雖然是22納米，在製程上可以達到10納米。還是比較先進的。
其實這個光刻機早就研製出來了，一直在認證。現在認證通過，說明良品率等等指標都已經達到行業標準，接下來就是量產了。還在認證中的有10納米級別的光刻機。
中國真的是發達國家絞肉機啊。芯片要是解決了，將大大縮小中美技術上的差距，尤其是信息產業，人工智能……太多了。
北卡山人 發表評論於 
中興可以解套了？嗬嗬。前幾年報道某某中國製藥公司做出了某種癌症體外細胞線，於是乎中國製藥業達到世界水平……吼吼
老品閑 發表評論於 
網上看到另一個很好的比喻:這就像是初期的槍械與最厲害的弓箭的對比。早期槍械，比如火銃，無論是射擊精度還是射擊距離都遠遠比不上厲害的弓箭；但是很快，狙擊槍就把弓箭甩開十萬八千裏了。
老品閑 發表評論於 
最討厭的就是不明白怎麽回事，不看別人發言就胡說八道。汽油汽車剛開始速度比馬車慢得多，但那是革命性的，看看現在汽車跑得多快?
 
tina0 發表評論於 
如果用一個新技術新方法生產出來的產品，甚至趕不上現有產品的性能，這個新技術新方法有多意義？還被稱作翻天覆地的變化，不是很可笑嗎？如果說這對中國而言意義重大，因為是從無到有，也許還說的過去。但用上世界，全球這樣的字眼，除了忽悠，沒別的意義。有一天還是會像東興那樣，被揭的體無完膚。
世界之央 發表評論於 
如果忽略成本，和世界最先進比，這個不是最好的。但是，這個預示著該領域的翻天覆地的變化。

使用深紫外光源的光刻機是主流，如荷蘭ASML公司。成像分辨力極限為34納米，多重曝光，很昂貴。
而中國這個在365納米波長光源下（普通紫光），單次曝光最高線寬分辨率達到22納米（加工能力介於深紫和極紫之間）。也就是說，突破了分辨力衍射極限，建立了一條高分辨、大麵積的納米光刻裝備研發新路線。更形象一點說是以前的“寬刀”就變成了現在的“窄刀”。成百上千的提高了性價比，這是市場的福音！
tina0 發表評論於 
很高興樓下這位點出了兩者的差別，首台不一定是第一，而這也恰恰揭示出中宣部媒體忽悠百姓經常使用的小伎倆。因為讀者閱讀的時候，沒人會去認真計較這兩個字之間的差別，反而經常把它們混為一談，讓大多數人還真以為第一了。反正隻要不被中興芯片這樣的事揭出來，誰也不會去計較真假。這就是中宣部媒體所要達到的目的。中移花接木，篡改概念，張冠李戴等等是中宣部媒體經常使用的小伎倆。最後集大成一個，厲害呀我的國。
hachimada 發表評論於 
在漢語中，“首台”和“第一”不是一個概念，首台是最先，第一是最好。什麽時候有人說這台光刻機是世界最好，再噴不遲。
shanemshane 發表評論於 
樓下噴的應該是不懂芯片的。所謂新式是指新的原理，巧妙繞過了現有國外的技術專利，可以在很大程度上自行開發生產，不是說業界最強。市場上大多數芯片是不需要7nm的，這基本就解決了大陸商業芯片有無的問題。就像當年的原子彈，雖然不是最大當量的，但存在就意味著技術威懾，可以在國內市場和國際市場開始拚了。
hachimada 發表評論於 
哈哈，有人對“全球首台”過敏啊。這的確是全球首台用365nm紫外燈實現22nm分辨率的光刻機。離先進水平差得遠，但也許是一條新路子，因為成本低很多。這不叫吹牛，明白？
X723 發表評論於 
別人造得出來的東西，你也應該造得出來這是常識。
世界之央 發表評論於 
雖然這個中國自行造的光刻機單次曝光最高線寬分辨力隻有22納米（結合雙重曝光可製造10納米級別芯片）， 但是這不是這個光刻機的看點，主要看點是采用新技術，（也就是目前還沒有普及的，中國是第一個創新並應用的）。

這將使中國在該領域實現變革性戰略的跨越發展。也就是說，中國不是完全照搬現有技術，而是超越現有技術從而實現更新一代技術的跨越。很多領域都是沿著這條路走的，比如航空發動機，中國的矢推是世界上唯一量產並真正安裝到飛機上應用的3D發動機。美俄目前應用的都是2D平麵的。。。
pants 發表評論於 
這應該算技術積累過程的一個裏程碑，不需要考慮工業化。
等再積累幾年大家都到半導體極限瓶頸卡住了就可以趕上可以考慮工業化量產了
超流隧道 發表評論於 
問題是中科院光電所的365納米紫外光汞燈光源是如何實現成為極紫外光源的？幾年前有報道，山東大學成功研發出高轉換率極紫外倍頻非線性光學晶體，出口荷蘭ASML公司，迫使該公司不得不解除對中國的產品禁運。從365納米倍頻到10納米，那得倍頻多少次啊？即使按照17%的轉換率，其中浪費掉的電能有多少啊？
abraham007 發表評論於 
大家不要著急。
--說實在的，我看到這則新聞沒有一點著急的感覺。難道垃圾華人著急？為啥呀？說說吧，說出來好受些，嗬嗬
胡小海 發表評論於 
回複網友評論 hachimada -----------
有人正兒八經地質疑“全球第一吹牛”，可是閱覽全文，我也沒看見任何一處說全球第一了。那還有什麽好質疑的呢？隻不過是有人不吐槽就憋得慌而已。
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成為全球首台
這麽大的字沒看見啊？
胡小海 發表評論於 
回複網友評論 purewater66 -----------
身穿超淨服，手卻不戴手套。不倫不類。
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戴了，但是是肉色的，因為領導喜歡看肉色絲襪。
一點小看法 發表評論於 
好使麽？
hachimada 發表評論於 
有人正兒八經地質疑“全球第一吹牛”，可是閱覽全文，我也沒看見任何一處說全球第一了。那還有什麽好質疑的呢？隻不過是有人不吐槽就憋得慌而已。
hachimada 發表評論於 
“用便宜的紫外燈達到了22nm的分辨率”，這有什麽好噴的嗎？沒人說這是世界最先進，所以“中國差多少代”雲雲都是無厘頭的鬥嘴而已。
shakuras2000 發表評論於 
大家不要著急。這裏沒有學科學和工程專業的麽？
我的經驗是，中文的科技新聞全都不可信，不是內容造假，而是文字編輯的
科學素養太差，往往重要的忽略，不重要的瞎吹
超流隧道 發表評論於 
荷蘭ASML公司用34納米的光學分辨率做出了7納米線寬的芯片，按照這個比例，中國SMEE公司用22納米的光學分辨率做出4納米線寬的芯片不是很難的，這其中用到的推進技巧不過是摩爾(Moire)條紋技術而已。做機械的或者做光學的工程師，誰沒有見過摩爾(Moire)條紋技術的應用呢？我家測量直徑用的千分卡的刻線分辨率隻有毫米級，卻可以測得0.1毫米的精度，用的就是摩爾(Moire)條紋技術呀。不過，用22納米的光學分辨率做出4納米線寬的芯片，需要用到5次曝光5次刻蝕技術，如果中國工程師能夠做成7次曝光7次刻蝕技術，那就是真的牛了。
老品閑 發表評論於 
TO:theriver1

你的比喻才是胡扯。好好看看這個技術。

如果你腦子還是不夠用，就看看中國人近年造出來多少高精尖設備讓國外天價設備變成了白菜價。
 
楓紅滿山 發表評論於 
2025，穩步推進。在華夏，總有真正的脊梁負重前行！大國智慧，必須要有自己的大國匠心來支撐。前麵高層，資改派很享受做長工的味道。習不一樣，奮力追趕，帶領國際群眾共同富裕。誰都知道，中國的科技進步最可能導致白菜價。哈哈，得又有了將要哭暈在廁所了
90034 發表評論於 
吼吼吼吼，，，怎麽感覺有人看到這個消息快要急死了。。。。
Armin 發表評論於 
現在解決的是有沒有的問題，沒人說這是最先進的，高精尖的芯片做不出來，一般的還是可以的，一步一步地走到不被美帝卡脖子，到那時你生產的高精尖芯片，我不用，你的產品沒了市場，公司還能生存嗎？注意中國是全球芯片第一用戶，所以老蘑菇禁了中興的時候，美國芯片公司也一片愁雲慘霧。老蘑菇是地產商兼賣貼牌褲衩的當然不會明白這些了。
實話100 發表評論於 
中國的很多東西隻要還沒到應用就不要太當真。因為很多都是立項要資金為目的的。
theriver1 發表評論於 
老品閑 發表評論於 2018-11-30 04:42:19
反中的心裏很不是滋味，質疑22納米不如7納米。奔馳做出來第一輛真正意義上汽車的時速隻有不到20公裏，遠遠低於馬車。
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這個比喻不恰當。應該這麽比喻，幾個國際知名大廚在最好的爐子上經過大量實踐，花費大量時間，終於開發出了最美味的菜係，並以此壟斷了飲食界。這時有人研發出所謂最新式的微波驢，並且自吹說用這個新式微波驢能夠做出一樣美味成本又低的多的菜肴。問題是，吹牛容易實現難。難在三個方麵：1.你怎麽用微波驢做出複雜的菜？2.你怎麽找到願意潛心鑽研冒著巨大職業風險搞出美味微波驢菜肴的知名大廚？ 3.最關鍵的，培養一個知名大廚不容易，好大廚都是要在爐具上經過十幾年反複實踐才最終鍛煉出熟練的刀工和火候等烹飪技巧，你說你微波驢大廚能彎道超車，你騙誰呀？！
wjhwsh 發表評論於 
雖然離世界先進水平還差的很遠，但畢竟是自力更生的產物，台積電和三星都沒有自己的光刻機，美國限製其實反而幫助了中國，如果不是美國製裁我相信中國的半導體還是不會引起重視
whatyouknow 發表評論於 
一語道破天機，本來就是一個襠媽的報道，笑笑而已。擺拍的人太粗心了，防護服不倫不類！

purewater66 發表評論於 2018-11-30 05:12:30
身穿超淨服，手卻不戴手套。不倫不類。
Etornado 發表評論於 
樓下的，現在質疑的不是你做出來差世界主流幾代的光刻機，而是質疑你又在吹“全球第一”之類的牛。奔馳做出來第一輛真正意義上汽車時並沒有天天吹他們的汽車比馬好，比馬快！奔馳從來都是低頭做事，想法挺高品質和性能，沒有天天去宣傳說他們的產品怎麽個嚇尿英法，還是嚇傻美國。
purewater66 發表評論於 
身穿超淨服，手卻不戴手套。不倫不類。
whatyouknow 發表評論於 
樓下烏毛們，有你襠媽的宇宙真理還需要芯片？
liamsun 發表評論於 
雖然中國科研機構研發出新型光刻機，但荷蘭ASML公司研製的光刻機仍是中國客戶的首選。hahaha
老品閑 發表評論於 
反中的心裏很不是滋味，質疑22納米不如7納米。奔馳做出來第一輛真正意義上汽車的時速隻有不到20公裏，遠遠低於馬車。
theriver1 發表評論於 
hachimada 發表評論於 2018-11-30 01:49:20
個人認為，把文章看明白再發帖是良好習慣。很多人並沒有仔細看文章，卻張口胡說。此光刻機的創新點並非是達到最高加工工藝水平，而是用長波紫外光源達到了深紫外和極紫外光源之間的加工水平，從而大大降低了22nm光刻機的成本。
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你在好好想想到底是誰在張口胡說的。你最後一句提到的所謂22nm光刻機，指的是目前最流行的193nm的深紫外（準分子激光ArF）光源的光刻機采用沉浸式二次曝光後，其大規模量產製程在2010年研發出後所支持的分辨率。人家在8年前都已經能夠大規模量產了，而你到現在連是否能生產芯片都還八字沒一撇呢，你就好意思去和人家8年前就能大規模量產的設備去比成本？你是故意胡說呢還是臉皮厚呢？
90034 發表評論於 
報道的這個嘛肯定是在說夢話的。。。快點把這些都告訴川普，讓他老人家寬寬心，
90034 發表評論於 
反正中國報道的飛機都是鋼絲繩吊著的，報道的火車都是紙糊的，其它會動的都是電腦動畫的。。。
泰傻 發表評論於 
白日看此文，夜裏夢更美。
挺沒勁 發表評論於 
希望是真材實料，而不是弄虛作假或者毫無應用價值隻是用來取悅領導的
theriver1 發表評論於 
相當長久 發表評論於 2018-11-29 22:44:18
懂的網友能否解釋一下， 這22納米的程度和7納米不是相差很多嗎？ 有什麽值得慶幸的？又為何強調是全球首台新式。。。？
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這個新聞確實是個大忽悠，很容易造成歧義。22納米和7納米，唯一相同的地方就是都描述的是“單次曝光最高線寬分辨率”。其它完全風馬牛不相及：前者是中科院用365nm的光源（是汞燈，不是激光）采用LSP方法間接獲得超衍射聚焦光斑,並將其應用到超衍射納米光刻中，最終達到22nm的分辨率。而後者是ASML采用13.5nm的光源（準分子極紫外光EUV），用沉浸式二次曝光的光學投影的方法投射在帶有光感塗層的矽晶圓上所能達到的分辨率。7nm是指目前已經投入量產的製程所能實現的最小分辨率。前者目前還無法用於生產集成電路，而後者工藝和製程全都基本成熟了。後者已經是第十二代了，而前者連第一代都還遙遙無期呢，所以二者根本就沒有可比性！...  查看完整評論
ytwadk 發表評論於 
這就像生命就要終結，再給打一針強心劑。體製的腐爛是什麽技術都救不了，別忘了科學技術解救不了中國。
Panda44 發表評論於 
有人頭才是真有用的，否則一堆廢物
theriver1 發表評論於 
人家台積電的7nm EUV工藝已經投入試產，完成了客戶芯片的流片工作，同時宣布5nm工藝將在2019年4月開始試產，量產則有望在2020年第二季度。中芯國際現在在台積電眼裏已經沒有任何威脅性了，因為差距實在太大了。三星的7nm LPP EUV工藝也快量產了，高通新一代的5G基帶就會采用三星的7nm LPP工藝。
這些代工巨頭們在先進製程持續競賽，意味著EUV工藝就要正式產業化，一旦產業化，還有誰敢與ASML爭鋒？還有任何可能替代ASML嗎？
theriver1 發表評論於 
山地 發表評論於 2018-11-29 23:11:54
這就是為什麽ASML公司以前不賣給中國光刻機，現在願意賣給中國光刻機的原因。
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網評員們最愛用的除了偷換概念就是造謠。人家ASML從沒說過不賣給中國光刻機。人家隻不過迫於美國商務部的壓力，不賣給中國的研究所和軍工企業。類似中芯國際這種私企，人家不是一直都賣的？當然啦，最尖端的EUV光刻機，人家當然要先賣給台積電、三星和Intel啦，若沒有這幾個大佬的鼎力支持，ASML哪有資金和技術實力搞出EUV光刻機來。等滿足了所有大佬再賣給中芯國際，已經是兩年後的事情了，問題是，芯片行業，兩年就意味這差了整整一代。本來中芯國際在製程研發上就嚴重落後，在專利上又被台積電徹底卡了脖子，如今再有兩年的設備差距，與國際芯片大佬的差距隻會越來越大，怎麽可能超越人家？
theriver1 發表評論於 
所謂LSP納米光刻技術,即通過利用長波長光源照明亞波長尺寸的探針或小孔,在探針或者小孔與介質的界麵處激發LSP,LSP在探針針尖或者小孔間隙處急劇振蕩形成LSP共振,利用表麵等離子體(SP)的短波長特性獲得超衍射聚焦光斑,並將其應用到超衍射納米光刻中。然而在基於LSP共振納米光刻中,由於LSP振蕩產生的攜帶高頻信息的倏逝波僅在激發結構的表麵傳播,在垂直於激發結構表麵方向上以指數形式衰減,這就要求在LSP納米光刻中,激發結構與光學記錄介質的距離必須在幾個納米的範圍內,而這必然帶來距離控製的難題。同時倏逝波在垂直結構表麵方向指數衰減的場分布也會導致納米光刻圖形曝光深度淺、對比度低、邊緣模糊的問題。沒有巨大的投入和革命性的理論突破，這些LSP共振納米光刻的致命特性怎麽可能輕易得到解決？
theriver1 發表評論於 
中科院光電技術研究所項目副總師胡鬆透露：“ASML的EUV光刻機使用的13.5納米的極紫外光源，價格高達3000萬元，還要在真空下使用。”。。。“而我們使用的365納米紫外光的汞燈，隻要幾萬元一隻。我們整機價格在百萬元級到千萬元級，加工能力介於深紫外級和極紫外級之間，讓很多用戶大喜過望。”
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這個中科院光電所的項目副總師，要麽是個芯片領域的外行，要麽就是個徹頭徹尾的騙子。他把兩種完全不同原理的設備並列起來對比，真是無恥到極點了。大家都不是傻子，等離子體(LSP)納米光刻技術，做得到集成電路生產工藝所需要的關鍵特性：方向性強、波長純度高、輸出功率大嗎？除了激光，還有什麽方法能夠這些基本要求？！
席辦 發表評論於 
我愛寶島台灣 發表評論於 2018-11-29 22:34:56
舔美一族又不開心哦。—啃定是中國偷別人技術。
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你是啃腚的中國一族？你愛台灣可以，別去汙染
藍山雀 發表評論於 
Etornado 說得靠譜。

芯片不僅是軟件，更重要的是材料，硬件。這不是短期就能搞定的。
不踏踏實實沉下去高研發，總是用這些普大喜奔的消息亢奮自己，正常嗎？
gunit 發表評論於 
自己信嗎？
hachimada 發表評論於 
個人認為，把文章看明白再發帖是良好習慣。很多人並沒有仔細看文章，卻張口胡說。此光刻機的創新點並非是達到最高加工工藝水平，而是用長波紫外光源達到了深紫外和極紫外光源之間的加工水平，從而大大降低了22nm光刻機的成本。
sigmazao 發表評論於 
我一直認為，數學物理這個領域，是華人優勢領域。從以前的電腦，到機電工程，精密儀器，光學工程等，或者說東亞人，腦力從來不問題。整個東亞擁有世界上最頂尖的精密機電光學工程師團隊，不是偶然。成本控製可能尚有不足，但是芯片設計製造，中國一定會自力更生，滿足自己需求。
theriver1 發表評論於 
親愛的俄67大媽，求你了，少說兩句吧。你這幾句一說出口，就暴露了你對目前芯片光刻技術和理論完全外行，你說得越多，越丟人現眼。中科院搞出的光刻機，采用的原理是局域表麵等離子體(Local Surface Plasmon)納米光刻技術，簡稱LSP納米光刻技術。你先不要討論所謂彎道超車的問題，我們先說點具體的：這裏不考慮材料、工藝、製程，甚至良率等量產問題統統不考慮，我就問你兩個問題：1.采用LSP納米光刻技術研製出的光刻機，做得出芯片來嗎？ 2.如果現在做不出芯片，你估計何時能做出？
theriver1 發表評論於 
長劍倚天 發表評論於 2018-11-29 23:18:57
在光刻機研製方麵，我們一直有兩個選擇：沿用ASML的老路走一遍，還是另辟蹊徑通過新原理彎道超車？我們國家很有錢，兩個選擇都在做。而這台SP光刻機的研製成功，就是讓我們看到了彎道超車的可能性。其實從原理上，這簡直就不是彎道超車了，而是在別的人還在繞山路的時候，我們嚐試著打了一條隧道……雖然還沒有完全挖通，但曙光就在眼前了。這就是這台新式光刻機的最大意義！
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親愛的俄67大媽，求你了，少說兩句吧。你這幾句一說出口，就暴露了你對目前芯片光刻技術和理論完全外行，你說得越多，越丟人現眼。中科院搞出的光刻機，采用的原理是局域表麵等離子體(Local Surface Plasmon)納米光刻技術，簡稱LSP納米光刻技術。你先不要討論所謂彎道超車的問題，我們先說點具體的：這裏不考慮材料、工藝、製程，甚至良率等量產問題統統不考慮，我就問你兩個...  查看完整評論
長劍倚天 發表評論於 
X射線有研究的，但技術也出現了瓶頸！
至於半導體材料那是另外一個課題，請不要混為一談！
Etornado 發表評論於 
長劍倚天，你錯了。目前的技術瓶頸不在光刻製程。紫外線不夠細，可以用X射線，X射線不夠還有伽馬射線。但半導體材料才是瓶頸口。你所說的“中科院的另一種思路”對超車沒多大幫助。

目前半導體最頂尖的材料研發還是在老美手上，勞倫斯柏克萊實驗室研發成功1納米的半導體晶體，他們是用納米碳管做材料。這個碳管的管壁僅由2-3原子組成。
fengfengloup 發表評論於 
狗子們不懂行的就不用瞎說了。 都隻是開始，五年後你們再看看吧。
長劍倚天 發表評論於 
樓下自己好像不會動腦子一樣。
簡單來說，世界主流用的方法已經到了極限，而中科院的是另一種思路沒有極限。
明白他們的區別嗎？誰的思路更有前途呢？
Etornado 發表評論於 
造出自己首台新式光刻機是好事，但宣傳上不要胡說八道，會讓懂行的人笑話。22納米製程的光刻機在2006年就被研發成功了，但真正放到大規模生產時是2011年，因為這個良率是非常重要的，否則就是虧到破產。2006年時候，半導體世界最前沿生產技術是65納米，而目前是7納米，按照目前半導體生產每兩年進化一代計算，中科院光電技術研究所這個技術和世界主流差了7代！這個就像拿著活塞式飛機跟隱形戰鬥機在打一樣。
長劍倚天 發表評論於 
亂石穿空 發表評論於 2018-11-29 23:40:51 
在極紫外EUV13.5nm之前的深紫外DUV光源波長是193nm.365nm怎麽在深紫外和極紫外之間了？光源的映射極限受波長限製，這是物理極限，沒法突破的。你波長比別人長，還不用多次曝光，騙誰呢？台積電用深紫外做到7nm，你22納米怎麽就全球第一了呢。
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原理不同！自己不清楚，但可以學習啊，要不網絡是幹什麽用的呢？上來就瞎評論，這個習慣不好啊。
簡單說：ASML 用的原理是：通過物鏡係統將將掩膜版上的圖案進行縮印成像。涉及到成像過程，就不得不考慮光的衍射極限。
而中科院用的原理是：利用物體表麵等離子體波進行光刻。從原理上就不再受到傳統衍射極限的限製。
SoWhatAgain 發表評論於 
最終還是要看穩定性與成品率。 估計離商業化還有一段距離。
yumidiee 發表評論於 
實驗室到商業生產到市場成功至少得5年，還是最最樂觀的估計。
hachimada 發表評論於 
樓下連文章也沒看懂，就別冒充內行了。哈哈。
亂石穿空 發表評論於 
新原理可以，彎道超車也可以，那要另辟蹊徑重起爐灶才行。還是用光靠，365nm要超過13.5nm，幾萬元的燈泡就可以代替DUV和EUV的激光器？以為全世界的半導體人都是傻子？還是別吹了，讓人笑話。
亂石穿空 發表評論於 
是了，文中說用在“大口徑薄膜鏡、超導納米線單光子探測器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片和超表麵成像器件”上。原來不是超大規模集成電路上。這是兩碼事。也就是騙騙外行了。你可以做出22nm的幾個器件，成品率10%。這和大規模生產一月幾萬片12吋晶圓每個芯片上幾十億個晶體管完全是兩碼事。
亂石穿空 發表評論於 
在極紫外EUV13.5nm之前的深紫外DUV光源波長是193nm.365nm怎麽在深紫外和極紫外之間了？光源的映射極限受波長限製，這是物理極限，沒法突破的。你波長比別人長，還不用多次曝光，騙誰呢？台積電用深紫外做到7nm，你22納米怎麽就全球第一了呢。
路邊的蒲公英 發表評論於 
postlist001 發表評論於 2018-11-29 23:08:16
asml的光刻機極限是7納米？那台積電今天要在台南投產3納米生產線是怎麽回事？
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按照天朝這個技術路線，如果ASML能達到7納米，台南投產3納米， 
天朝可以達到2納米，1 納米。
長劍倚天 發表評論於 
在光刻機研製方麵，我們一直有兩個選擇：沿用ASML的老路走一遍，還是另辟蹊徑通過新原理彎道超車？我們國家很有錢，兩個選擇都在做。而這台SP光刻機的研製成功，就是讓我們看到了彎道超車的可能性。其實從原理上，這簡直就不是彎道超車了，而是在別的人還在繞山路的時候，我們嚐試著打了一條隧道……雖然還沒有完全挖通，但曙光就在眼前了。這就是這台新式光刻機的最大意義！

 
羅馬軍團 發表評論於 
其實這件事在荷蘭忽然肯賣給中國先進光刻機那時候，就已經有端倪了，我當時就見過文章說他們再不賣恐怕以後就沒多少機會賣了。因為中國的方法和他們不同，他們用波長更短的燈，但是越往高頻越難，現在再走一小步價格都會指數上漲。然而中國用了不同的方法，中國是用倍頻技術，將波長較長的光4倍頻8倍頻獲得超高頻光，這個技術顯而易見比去提高光源頻率的前景遠大得多。倍頻技術說起來很簡單，因為世界上存在一種倍頻晶體，光照進去會產生倍頻光，因此隻要倍頻光的轉換率足夠的高，那麽這就可以多級串聯，2倍頻，4倍頻，8倍頻，16倍頻。。。隻要你有合適的晶體。
共-產-黨 發表評論於 
又一航公橫空出世！不信？走著瞧！
當年的漢芯的報道，比這還牛！
美國一製裁，光刻機就做出來了？如果科技，製造這麽容易突破的話，人人類早就以光速飛行了。
山地 發表評論於 
這就是為什麽ASML公司以前不賣給中國光刻機，現在願意賣給中國光刻機的原因。
羅馬軍團 發表評論於 
postlist001 發表評論於 2018-11-29 23:08:16 asml的光刻機極限是7納米？那台積電今天要在台南投產3納米生產線是怎麽回事？
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這很正常，極限隻是說有比較保證的精度，再往高就沒保證了，出來的可能行，也可能是殘品。那就挑唄，良品率是下降了，但是新製程會帶來許多好處，由此帶來價格和利潤的上升，這就看合算不合算了。
羅馬軍團 發表評論於 
樓下別嗬嗬了，你怎麽知道中國沒有踏踏實實做基礎工業的。前幾年中國因為沒錢，基礎理論研究的確是收縮得很厲害，當然其實本來也沒多少基礎。但是基礎工業從來沒有放下過，否則哪裏有現在的工業能力。
postlist001 發表評論於 
asml的光刻機極限是7納米？那台積電今天要在台南投產3納米生產線是怎麽回事？
agare 發表評論於 
Hehe, 當真你就輸了。這是基礎工業。得踏踏實實，沒幾十年不行的。還有從事基礎工業的待遇要大幅高上去，這樣才能讓這些人踏踏實實研究。你覺得現在這個環境可能嗎？
swmpsp 發表評論於 
狼來了喊多了就不靈了，絕大多數人也確實不相信。但總有極少數人，因為某種目的或原因，必須相信
長劍倚天 發表評論於 
台積電和三星還打過技術產權的官司，一個越南華人從台積電被三星挖走，才讓三星做大的。台積電控告三星偷技術，好像後來也不了了之啦。
羅馬軍團 發表評論於 
相當長久 發表評論於 2018-11-29 22:44:18 懂的網友能否解釋一下， 這22納米的程度和7納米不是相差很多嗎？ 有什麽值得慶幸的？又為何強調是全球首台新式。。。？
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“光刻機是集成電路製造業的核心角色。目前，使用深紫外光源的光刻機是主流，成像分辨力極限為34納米，分辨率進一步提高要用多重曝光等技術，很昂貴。” 這句話看懂了沒？中國這台用深紫外燈突破了34納米極限。7納米那個是用極紫外燈做的。有什麽區別？當然就是因為價格差別。如果能把極紫外燈降到深紫外燈的價格，誰還會用深紫外呢？
kingofLiu 發表評論於 
相當長久 發表評論於 2018-11-29 22:44:18
懂的網友能否解釋一下， 這22納米的程度和7納米不是相差很多嗎？ 有什麽值得慶幸的？又為何強調是全球首台新式。。。？

我知道我有什麽地方沒搞懂。請有知識的網友給予點撥，看點在哪兒？謝謝

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使用的光源不一樣，而且價格便宜，22納米隻是第一步，以後會更小，關鍵是這事自己做的，不受別人限製，強如台積電三星也都是用買的光刻機。
長劍倚天 發表評論於 
剛剛研製成功的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什麽？對國內芯片行業有何影響？
去知乎，按這個標題查詢。
長劍倚天 發表評論於 
相當長久 發表評論於 2018-11-29 22:44:18 
懂的網友能否解釋一下， 這22納米的程度和7納米不是相差很多嗎？ 有什麽值得慶幸的？又為何強調是全球首台新式。。。？
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知乎上有相關議題的討論，你可以去了解一下。
為什麽這個牛，是因為突破了現有世界光學衍射的極限，而不是22納米的問題。
藍藍馨 發表評論於 
哈哈哈
孫小空2018 發表評論於 
所以才有現在的毛衣戰。
毛衣戰本質根本不在貿易。而是用貿易為借口，阻止中國發展而已。因為美國發現，中國這個家夥，正在不斷逼近，而人家是看得到真實數據的。
當然，也不要過度神話中國，美國隻是提前動手而已，不是說中國就會超過美國。這是一種防微杜漸。

當然，若中國真的很差，美國也完全沒必要弄這個毛衣戰了。

所以，毛衣戰的開始，說明中國確實有可能趕上美國，但短期內不可能，現在是在搖籃裏。
duty 發表評論於 
很好，縮短差距，打破壟斷。
長劍倚天 發表評論於 
試想一下，當中國芯片以白菜價，相同質量和美國芯片在國際市場競爭的時候，該是一種什麽情形？？？
大米袋 發表評論於 
一個汞燈隻要幾萬，哈哈，以後光刻機就是白菜價，人人買的起。
相當長久 發表評論於 
懂的網友能否解釋一下， 這22納米的程度和7納米不是相差很多嗎？ 有什麽值得慶幸的？又為何強調是全球首台新式。。。？

我知道我有什麽地方沒搞懂。請有知識的網友給予點撥，看點在哪兒？謝謝
sylphy 發表評論於 
藍靛廠 無論哪國半導體材料都多少需要進口吧。
路邊的蒲公英 發表評論於 
宣布的是22納米，其實他們現在已經做到10納米。
媚眼鳳姐 發表評論於 
"ASML的EUV光刻機還要在真空下使用。"

難道你的不需要?
novint 發表評論於 
讓子彈再飛一會
長劍倚天 發表評論於 
實話說，美國現在搞限製已經晚啦！早幹嘛去啦？
現在中國高科技不是沒有好的基礎，人財物都有，唯一缺的就是市場的支持！
美國正好提供了這個讓出市場的機會，這事兒，中國高科技公司要集體感謝美國政府的大力支持！
路邊的蒲公英 發表評論於 
對於這項超分辨光刻技術，中科院院士周光召評價：“這些成果是基礎理論和工程應用緊密結合的全鏈條創新典範，是我國具有原創性、能引起國際引領作用的代表性工作。”
我愛寶島台灣 發表評論於 
舔美一族又不開心哦。—啃定是中國偷別人技術。
長劍倚天 發表評論於 
南嶺老三 發表評論於 2018-11-29 22:22:13 
實驗室通過鑒定。嗬嗬。拿到生產線試試？
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生產線調試不也是建立在實驗室成功基礎上的嗎？
關鍵還是市場！隻要市場有需求，不愁國產芯片出不來，美國限製芯片出口正好給了中國芯片行業的提速機會，倒黴的隻能是美國芯片公司！
lakelavon 發表評論於 
嗬嗬
 
 
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