比如DUV隻能做到20納米。那麽，在同一個芯片上燒兩次，位置錯開一半，那就可以做到10納米了。這就是DUV拷貝的意思。

來源: 郭大平於 2023-09-07 08:47:59 [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀：次

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