文章中提到，2025年3月，深圳新凱來宣布7nm DUV光刻機實現量產，依托四重曝光技術，覆蓋5nm—28nm全製程。

來源: thore 於 2026-05-17 08:46:18 [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀：次

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