目前的國產半導體自主設備進度:
北方華創:刻蝕設備14納米搞定,10納米在研。沉積設備14納米客戶驗證中
中微:刻蝕設備5納米量產,3納米在研
拓荊:沉積設備10-14納米客戶驗證中
盛美:清洗設備14納米量產
至純:清洗設備7,10,14納米客戶驗證中
屹唐:刻蝕設備5納米客戶驗證中,去膠設備5納米量產
微導:沉積設備28納米量產
華海清科:拋光設備14納米客戶驗證中
芯源微:塗膠設備28納米量產
中科飛測:檢測設備10-14納米在研