尹誌堯:給大家也報個好一點的消息,到今年夏天左右,我們基本上可以做到自主可控。中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是製造各種微觀器件的關鍵設備,可加工微米級和納米級的各種器件。#半導體 #芯片 #集成電路 #半導體設備