基本沒戲。EUV是DUV往上的區域，選哪一個波段，光源純嗎？有沒有濾光鏡？是不是國產的？玻璃不行，石英？有沒有聚焦鏡片？

來源: 於 2023-09-16 10:07:04 [博客] [舊帖] [給我悄悄話] 本文已被閱讀：次